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通用磁控溅射镀膜机GMS-1000

  • 所属分类:磁控溅射镀膜机

  • 点击次数:
  • 发布日期:2019/01/25
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详细介绍


型号:GMS-1000


特点:

1、支持向上或向下的镀膜方式;

2、先进的溅射靶材结构设计,实现膜厚分部的稳定可靠;

3、高速旋转的伞具与实际镀膜工件的监控位置,实现了所见即所得;

4、多通道透射式监控,配合可调节膜厚修正板,实现了膜厚分布的反馈控制;

5、支持任意膜厚的控制;

6、通用的控制平台,友好的人机界面,使客户可以自行设置镀膜机的所有控制参数;

7、开放式接口,方便安装第三方的光学膜厚仪;

8、气流和气压同时实时控制,适用出气量大的低温镀膜。


工艺参数:

1、真空系统

     a) 极限真空度:4.0×10-5Pa 

     b) 抽至10Pa所用时间:≦ 10 分钟

     c) 漏率: 3.0×10-5Pa m3/sec

2、控制精度

     a) 靶材尺寸:8寸直径

     b) 工件旋速: 20-120RPM

     c) 工件尺寸:直径900mm

     d) 离子源:等离子体离子源

     e) 加热温度:上下双加热控制,最高温度350度

     f)高真空泵:DN400油扩散泵或电子泵

     g)低真空泵组:机械泵+罗茨泵机组

     h)冷阱:双组Polycold

3、光学监控系统OMS

     a) 波长精度:0.2nm

     b) 光强波动: 白光< 0.1%,激光< 0.02%

     c) 波长范围: 400nm-1650nm



      杰莱特拥有世界领先的真空镀膜技术,已申请多项专利。生产多种高质量镀膜设备,同时承揽镀膜设备的维修和改造以及镀膜工艺咨询服务等业务。

      公司生产的各型镀膜机,是针对特定市场和客户群体开发的新产品,与目前市场上普遍采用的镀膜设备相比具备以下突出优势:单体同步精密监控,实时膜厚分布控制。因此适合做各类高难度镀膜产品。单片薄膜产品的面积越大,优势越明显。而电子束镀膜机还增加了双面镀膜功能,适合半导体激光器的端面镀膜。

      杰莱特秉承质量第一,信誉至上的理念专注镀膜行业数十年,我公司将利用自身技术优势,根据客户需求,生产各种类型的高端精密镀膜设备,打破目前在高端镀膜机市场全部由国外企业垄断的局面,欢迎各界人士来电咨询!


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